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關(guān)于無塵車間與靜電的關(guān)系以及靜電的危害分析

來源:www.jjwccj.com 發(fā)布時間:2019年02月27日
    2019年2月27日,在無塵車間里面是不能有靜電的,下面無塵車間供應(yīng)廠商就來說說無塵車間與靜電的關(guān)系以及危害介紹。
    一、無塵車間與靜電
    1、無塵車間:半導(dǎo)體、平面液晶顯示器、光電子和生物醫(yī)藥都需要潔凈的生產(chǎn)車間,通常無塵車間是指空間空氣懸浮粒子濃渡被控制在規(guī)定界限內(nèi)的房間或限定空間,這塵埃粒子的粒徑越小和被限定的粒數(shù)越小,潔凈度便越高。
    2、無塵車間的靜電:由于無塵車間的潔凈度要求(常規(guī))
    ①大量的高絕緣介質(zhì)裝飾材料、地面、墻、門、頂棚、隔斷、工作臺、椅子等等,這些 材料摩擦容易起電帶電,不易泄漏釋放。地面500V~1000V,擴(kuò)散間塑料地面500V~1500V,瓷磚地面也有500V~1500V,塑料墻紙700V,塑料頂棚OV~1000V,金屬活動皮芏椅面500V~3000V。

    ②人穿潔凈工作服、鞋、步行或工作時,與不同物質(zhì)設(shè)備器材摩擦要產(chǎn)生靜電,人、衣服、鞋都會帶電。人穿尼龍衣、塑料膠底鞋緩慢地在清潔的地板上走動,人身上帶7000V~8000V靜電壓。在乙烯基地板上行走可帶1200V(10%~20%RH)、250V(65%~90%RH)靜電壓,在地毯上行走可帶35000V(10%~20%RH)、1500V(65%~90%RH),晶片裝配線工人穿的工作服可達(dá)10KV。


    ③空調(diào)氣流經(jīng)過初效過濾器、中效過濾器、高效過濾器,無塵出口氣流是帶靜電的。鋁板送風(fēng)口、回風(fēng)口約為500~1000V。
    ④大量的絕緣器材、裝備和工具,也是重要的靜電電荷源。晶片裝配生產(chǎn)線:晶片裝料盒35KV,有機(jī)玻璃蓋8KV,石英制品1.5KV,晶片托盤6KV,丙烯酸脂蓋20KV,臺桌面10KV,塑料存貯柜30KV,玻璃纖維晶體載料盒滑過聚丙烯桌面帶10KV。
    總之:無塵車間的潔凈度要求越高,靜電帶電便越嚴(yán)重。
    二、無塵車間靜電的危害
    1、靜電庫侖力:在靜電庫侖力的作用下,吸附的粉塵、污物造成元器件增大泄漏或形成短路,使性能受損,成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑>100μm,鋁線寬度約100μm,氧化膜厚度在50μm時,最易使產(chǎn)品報廢?,F(xiàn)在線徑更細(xì),氧化膜很薄,粒徑很小的塵粒子就會損害元器件,這種情形多發(fā)生在腐蝕清洗、光刻、點(diǎn)焊和封裝等工藝過程中。
    2、靜電放電:
    (1)元器件的絕緣氧化膜被擊穿,引線被燒斷或線間熔斷。若人體帶上10KV(100PF)的靜電荷,觸摸器件腳時發(fā)生ESD,其向大地瞬間形成脈沖放電電流峰值可達(dá)20A(10~100s),不要說高密度,細(xì)線徑,薄SiO2膜的Lsi、Vlsi,就是一般IC、MOS都會遭受損壞。
    一般說器件絕緣柵SiO2薄膜的耐壓場強(qiáng)是E=(5-10)×106V/cm,如果器件SiO2膜厚度取1000,其器件輸入腳施加50V-100V以上的靜電壓就將會被擊穿,而人體帶靜電超過50V、100V是極平常的。
    (2)造成噪聲、發(fā)射電磁波干擾! ESD引起EMI其電磁波的前后峰較尖,信號強(qiáng),相當(dāng)于電路中幾伏的能量,頻率跨越幾MH2甚幾百M(fèi)H2的強(qiáng)大噪聲,可能引起元器件損壞,設(shè)備和傳感器不正常工作,甚至引起設(shè)備死機(jī)。
    ESD引起的EMI還會引發(fā)錯誤信號的輸入,或發(fā)生鎖存現(xiàn)象。如無塵室中,將晶圓片的EMIF箱放在鋼的手推車上,晶圓片的ESD會通過電感傳給手推車,車輪是絕緣的,則EMI的擴(kuò)散會引起晶圓片處理機(jī)死機(jī)。
    (3)電擊人體:人體的ESD或?qū)θ梭w的ESD當(dāng)超過人體電擊極限電流5mA以上時,人都會有各種傷害感覺,造成工作人員的情緒不安,操作錯誤。
    無塵車間的半導(dǎo)體,平面顯示器,光電子等無塵車間,盡管做了很多工作,但無塵車間的靜電問題仍然影響著生產(chǎn)安全和產(chǎn)品產(chǎn)量,影響著制造成本和效益,影響產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。據(jù)國外工業(yè)專家估計,美國每年由于靜電造成產(chǎn)品的損失平均在8-33%,還有人估計美國每年靜電對電子工業(yè)毀損價值達(dá)100億美元;日本80年代曾對報廢的電子產(chǎn)品進(jìn)行分析,由ESD引起的損失占1/3。我國半導(dǎo)體、平面液晶顯示、光電子等都起步較晚,但靜電危害也時有發(fā)生,成品率較低。而銀行、證券公司、機(jī)要數(shù)據(jù)庫、監(jiān)控中心,電力調(diào)度室等等,若出現(xiàn)ESD就很容易引起干擾,數(shù)據(jù)遺失,情形就更嚴(yán)重了。
    成都蘇蓉凈化設(shè)備有限公司多年從事無塵車間安裝業(yè)務(wù),無塵車間設(shè)計,藥廠GMP車間設(shè)計,電子潔凈車間設(shè)計,化妝品凈化房設(shè)計經(jīng)驗(yàn),主要為大家提供:無塵車間供應(yīng)廠商、無塵車間供應(yīng)廠家位置、無塵車間供應(yīng)廠家報價等,歡迎來電。
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