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淺析無塵車間空氣過濾器的使用要求
來源：www.jjwccj.com 發(fā)布時間：2019年01月08日
在半導(dǎo)體生產(chǎn)和制藥工業(yè)中, 對空氣的潔凈度要求較高。典型的工作環(huán)境中, 每立方英尺空氣中含有500000個粒子, 而半導(dǎo)體生產(chǎn)的最新要求是每立方英尺空氣中只有1 個粒子。因此, 工作間需要用經(jīng)過高效過濾器過濾的潔凈空氣不斷地循環(huán)清洗。為保持HEPA 過濾器的潔凈和壽命, 還需要幾段效率較低的預(yù)濾器聯(lián)合使用。
對于工廠、車間排放的廢氣,要求最嚴(yán)格的是毒性。某些重金屬如汞、砷、鉻、鈹?shù)榷拘院艽? 其排放限制非常嚴(yán)格。在空氣毒性方面, 美國和德國已經(jīng)通過了新的更嚴(yán)格的立法。執(zhí)行新的立法后, 空氣毒性的限制由原來的20mg/m3 (標(biāo)準(zhǔn)) 降低到010004mg/m3 (標(biāo)準(zhǔn))。為達(dá)到這一目標(biāo), 工廠需要更先進(jìn)的過濾器以除去亞微粒子。
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